容器組件

分光干涉式晶片厚度計

  • 產(chǎn)品名稱：分光干涉式晶片厚度計
  • 產(chǎn)品型號：SI-F80R 系列
  • 產(chǎn)品廠商：KEYENCE基恩士
  • 產(chǎn)品文檔：
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簡單介紹

分光干涉式晶片厚度計

的詳細介紹
KEYENCE基恩士  分光干涉式晶片厚度計  SI-F80R 系列     電/微   詳詢   趙13062644508

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采用近紅外 SLD，即使已貼附 BG 帶也可測量晶片本身的厚度。即使晶片表面存在由于圖案而產(chǎn)生的顯著差異，也可實現(xiàn)準確的生產(chǎn)線上測量。

產(chǎn)品特性
即使已貼附背面研磨帶也可測量晶片厚度
大幅降低圖案的影響
可在生產(chǎn)線上進行測量
自動映射整個晶片的厚度分布

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